20 世紀 80 年代，電子產 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司，國內特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導體行業(yè)生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體分類：從應用領域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種，廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領域。
滅菌特種氣體主要應用于（繃帶、縫線及手術器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產不 可或缺的原材料。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質量與 發(fā)達國家相比，尚有較大差距；特種氣體的儲存注意事項：為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患，存放場地需平坦，操作需謹慎、輕柔；并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，
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