高純氬在半導體工業(yè)中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。充液氬前要用少量液氬預冷。貯存，停產期間，由于自然揮發(fā)的氮氣留在槽內，內筒壓力會逐漸升高，當內筒壓力達到0.8Mpa時，應適當打開放空閥泄壓。液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。
液氬用于特殊場所的滅火氣體；重要的玻璃專柜中的填充保護氣體；使用特定的方法可以使氬氣離子化并且發(fā)光，用于等離子燈和粒子物理學中的能量器；液氬沸點- 185.9℃。熔點-189.2℃。臨界溫度-122.3C，臨界壓力4. 893MPa。溶于。不燃燒，無毒，無腐蝕性。液氬貯槽使用前的準備工作閥門儀表的檢查：在充入低溫液體前要認真檢查閥門是否處于正確的啟閉狀態(tài)，儀表指示是否正確否則應予以調整。
液氬 無色、無味、無臭、無毒的惰性氣體，化學性質極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3 (21.1℃，101. 3kPa)，液體密度1394.Okg．m-3(一185.9℃，101. 3kPa)。液氬貯槽使用前的準備工作氣密性試驗：貯槽完成安裝，或者內筒恢復常溫后，在充入低溫液體前應進行系統(tǒng)氣密性試驗，試驗壓力為貯槽的工作壓力，試驗用氣為無油干燥空氣或干氮氣，試驗時間不得小于4小時。氬氣主要的用處就是它的惰性，可以保護一些容易與周圍物質發(fā)生反應的東西。用作燈泡制作中的保護氣體；金屬焊接的保護氣體；
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