高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。充液氬前要用少量液氬預(yù)冷。貯存，停產(chǎn)期間，由于自然揮發(fā)的氮氣留在槽內(nèi)，內(nèi)筒壓力會逐漸升高，當(dāng)內(nèi)筒壓力達到0.8Mpa時，應(yīng)適當(dāng)打開放空閥泄壓。液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。
液氬利用氬的惰性，向熔池鋼水中吹氬，可使成分均勻，清除夾雜物質(zhì)，脫除有害氣體，調(diào)節(jié)溫度，提高鋼的質(zhì)量。液氬罐使用結(jié)束時（下班）需要關(guān)緊有關(guān)閥門并放松調(diào)壓閥，確認場地安全無火種后整理場地，保持整潔。液氬應(yīng)用：不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質(zhì)量。
液氬可以傷皮膚，所以氬氣雖然是無毒的，但是仍然具有一定的危險性。在使用氬氣的時候還是需要格外注意。液氬是一種超低溫液體(-196℃)。液氬用于特殊場所的滅火氣體；重要的玻璃專柜中的填充保護氣體；使用特定的方法可以使氬氣離子化并且發(fā)光，用于等離子燈和粒子物理學(xué)中的能量器；液氬用于白熾燈和熒光燈泡的充氣；在燈中制造藍光。為超純半導(dǎo)體中使用的鍺和硅晶體提供保護氣氛和熱傳導(dǎo)。
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